累計(jì)申請(qǐng)專利4248件實(shí)現(xiàn)銷售逾100億元

    我國集成電路裝備重大專項(xiàng)在整機(jī)裝備、成套工藝和關(guān)鍵材料等方面，初步掌握了一批制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，特別是“65納米成套產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)完成并進(jìn)入批量生產(chǎn)，使我國集成電路制造水平首次達(dá)到國際先進(jìn)水平。這是記者從近日召開的“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)“十一五”成果發(fā)布暨采購合同簽約儀式上獲悉的?？萍疾坎块L萬鋼、北京市市長郭金龍、市委常委趙鳳桐、專項(xiàng)第一行政責(zé)任人北京市副市長茍仲文、上海市副市長沈曉明等出席會(huì)議。

    該專項(xiàng)自實(shí)施以來，眾多課題取得突破性進(jìn)展。在裝備整機(jī)方面，多臺(tái)12英寸關(guān)鍵整機(jī)產(chǎn)品及關(guān)鍵零部件實(shí)現(xiàn)突破，改變了長期被國外公司壟斷的被動(dòng)局面。研制的12英寸65納米介質(zhì)刻蝕機(jī)產(chǎn)品已獲得了國內(nèi)外批量訂單20臺(tái)；研制的12英寸65納米柵刻蝕機(jī)通過全部工藝驗(yàn)證。目前專項(xiàng)各單位已累計(jì)申請(qǐng)專利4248件，研發(fā)成果實(shí)現(xiàn)銷售超過100億元，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)增長近千億元。

    會(huì)上還舉行了采購合同與合作協(xié)議簽約儀式。合同與合約中總計(jì)有集成電路高端制造裝備產(chǎn)品15臺(tái)（套），封測裝備87臺(tái)（套）以及系列材料產(chǎn)品，合同金額10億元。

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